华南理工大学学报(自然科学版)

作者：刘玉荣 向银雪

单位：华南理工大学 电子与信息学院∥微电子学院，广东 广州 510640华南理工大学 电子与信息学院∥微电子学院，广东 广州 510640

关键词：聚偏氟乙烯薄膜,触觉传感器,压电,柔性

基金：国家自然科学基金资助项目( 61871195) ;广东省自然科学基金资助项目( 2016A030313474)

聚偏氟乙烯( PVDF) 压电薄膜因具有柔韧性强、机械强度高、灵敏度高、频响范围 宽等优点，在触觉传感器、超声换能器等领域具有广泛的应用前景． 文中首先介绍了基于 PVDF 的压电触觉传感器的工作原理和制作工艺，然后从器件的压电性能优化、微结构 化、集成化、柔性化、仿生化 5 个方面系统概述了 PVDF 压电触觉传感器的研究现状与发 展趋势，讨论了其在机器手、微创手术、健康监测领域的应用研究与进展，最后分析了目前 PVDF 压电触觉传感器发展的不足和未来的主要研究趋势．

来源：2019年第10期

《华南理工大学学报(自然科学版)》期刊编辑部

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