华南理工大学学报(自然科学版)

作者：王振民 吴健文 范文艳 叶春显

单位：1． 华南理工大学 机械与汽车工程学院，广东 广州 510640; 2． 深圳市鹏源电子有限公司，广东 深圳 518000

关键词：等离子体电源,谐振变换器,SiC MOSFET,功率密度,效率

基金：国家自然科学基金资助项目( 51875212) ; 广东省科技计划项目( 2018A030313192，2017B090901023， 2016B090927008，) ;广州市国际合作项目( 201807010035)

利用 SiC MOSFET 能简化电路拓扑、提高电源的功率密度和效率． 为推动大功率 等离子体电源的升级换代，提出了一种采用新型 SiC 功率器件的全桥谐振变换器． 该谐振 变换器的主电路采用 LLC Zero Voltage Switching( ZVS) 拓扑结构，可将谐振换流频率范围 增大至260 ～310kHz． 设计的高频高压全桥 LLC ZVS 谐振变换器样机的额定输出功率为 8kW，输出电压为270V． 对所研制的8kW 级 SiC MOSFET 全桥 LLC ZVS 谐振变换器样机 的驱动性能、换流过程、温升以及效率进行了测试，结果表明，研制的谐振软开关等离子体 电源性能优良，工作稳定可靠，效率和功率密度均优于使用传统 Si MOSFET 的 LLC 谐振 变换器．

来源：2019年第1期

《华南理工大学学报(自然科学版)》期刊编辑部

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